6N高纯氨中杂质分析方法研究

来源 :中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dracula1103
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作者对高纯氨的定量分析方法开展了深入研究.通过查阅国内外文献资料,并根据以往的经验,对多种色谱条件进行了比较分析,从而筛选出最佳的色谱分离柱,载气流速,检测温度等分析条件.
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