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会议论文
6N高纯氨中杂质分析方法研究
6N高纯氨中杂质分析方法研究
来源 :中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dracula1103
【摘 要】
:
作者对高纯氨的定量分析方法开展了深入研究.通过查阅国内外文献资料,并根据以往的经验,对多种色谱条件进行了比较分析,从而筛选出最佳的色谱分离柱,载气流速,检测温度等分析
【作 者】
:
张琳
郭云龙
【机 构】
:
大连保税区科利德化工科技开发有限公司
【出 处】
:
中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
高纯氨
杂质分析
定量分析方法
载气流速
文献资料
色谱条件
检测温度
分析条件
比较分析
分离柱
筛选
经验
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作者对高纯氨的定量分析方法开展了深入研究.通过查阅国内外文献资料,并根据以往的经验,对多种色谱条件进行了比较分析,从而筛选出最佳的色谱分离柱,载气流速,检测温度等分析条件.
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