【摘 要】
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Al/Ti 双层薄膜具有良好的超导转变特性,其相变宽度较窄,电阻对温度的灵敏度较高[1].本文报道了Al/Ti 双层薄膜超导TES 的光子数分辨特性.低温下,常态金属的热学性能与样品体积相关[2],通过设计双层薄膜的尺寸,使其满足光子数分辨所需的热导、热容需要,制备出了完好的TES,如图1 所示[3].
【机 构】
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清华大学信息科学与技术国家实验室,北京 100084;清华大学微纳电子学系,北京 100084;清华大学微电子学研究所,北京 100084
【出 处】
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第十三届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会
论文部分内容阅读
Al/Ti 双层薄膜具有良好的超导转变特性,其相变宽度较窄,电阻对温度的灵敏度较高[1].本文报道了Al/Ti 双层薄膜超导TES 的光子数分辨特性.低温下,常态金属的热学性能与样品体积相关[2],通过设计双层薄膜的尺寸,使其满足光子数分辨所需的热导、热容需要,制备出了完好的TES,如图1 所示[3].
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