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一种高灵敏度微波功率传感器的新结构设计
一种高灵敏度微波功率传感器的新结构设计
来源 :第六届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:duoduo19851125
【摘 要】
:
该文提出一种半导体热偶微波功率传感器的新的微结构设计方案。解决原有设计器件存在的问题,以获得更高的灵敏度。对该新结构进行理论分析,有限元计算,取理了理想的结论。
【作 者】
:
张雨燕
陈德勇
崔大付
【机 构】
:
中科院电子所传感技术国家重点实验室(北京)
【出 处】
:
第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
高灵敏度
微波功率传感器
有限元计算
设计方案
理论分析
新结构
微结构
半导体
热偶
器件
理想
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该文提出一种半导体热偶微波功率传感器的新的微结构设计方案。解决原有设计器件存在的问题,以获得更高的灵敏度。对该新结构进行理论分析,有限元计算,取理了理想的结论。
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