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本文详细地介绍了空间环模设备研制过程中的氦质谱检漏技术的应用。在文中介绍了真空环模设备的用途及检漏的准备工作。对检漏方案的设计、仪器最小可检灵敏度及时间参数的分析、具体工艺流程的实施进行了细致地讨论。希望能为以后的环模设备检漏提供一些帮助。
真空模拟设备研制中检漏工艺的研究
【摘 要】
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本文详细地介绍了空间环模设备研制过程中的氦质谱检漏技术的应用。在文中介绍了真空环模设备的用途及检漏的准备工作。对检漏方案的设计、仪器最小可检灵敏度及时间参数
【机 构】
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北京卫星环境工程研究所 北京 100094
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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