【摘 要】
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散射儀(scatterometer)可降低震動的干擾,又具有高測量重複性,在次世代疊對量測技術(overlaymetrology)中,逐漸受到重視.根據疊對圖樣的光柵與光入射平面的夾角,可分爲兩種量
【机 构】
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工業技術研究院量測技術發展中心,新竹,300
【出 处】
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第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会
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散射儀(scatterometer)可降低震動的干擾,又具有高測量重複性,在次世代疊對量測技術(overlaymetrology)中,逐漸受到重視.根據疊對圖樣的光柵與光入射平面的夾角,可分爲兩種量測模式,即傳統模式(conventionalmode)與圓錐模式(conicalmode).本文利用嚴格耦合波理論(rigorouscoupledwavetheory)模擬以此兩種模式量測同一個光柵式圖樣,並比較其差異性,結果顯示圓錐模式有較佳的靈敏度.
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