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为了进一步探明O2气氛下的稀土倍半氧化物表面在激光诱导下生成过氧的影响因素及其本质，本文采用原位显微Raman光谱技术，对Nd2O3和Sm203表面的O2-在325 mn激光诱导下与O2反应生成O22-的过程进行了详细表征，系统考察了稀土氧化物的相结构、反应温度和激光功率等因素对过氧物种生成的影响，并以18O2为分子氧和晶格氧的氧源，对立方Nd2O3上过氧物种的激光诱导生成过程进行了考察，结果表明：在325nm激光照射下，立方Nd2O3和立方Sm2O3的晶格氧在室温下即可与分子氧反应生成过氧物种。