【摘 要】
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采用溶胶凝胶方法结合两种不同热处理工艺制备高浓度掺杂TiO2:Nb薄膜,随后将制备好的薄膜在氢气气氛下700℃退火.采用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱等手段研究了薄膜
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027
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采用溶胶凝胶方法结合两种不同热处理工艺制备高浓度掺杂TiO2:Nb薄膜,随后将制备好的薄膜在氢气气氛下700℃退火.采用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱等手段研究了薄膜的结构、组成、微观形貌等信息.研究结果表明,掺杂Nb原子取代Ti晶格后促进了TiO2的n型导电性,使TNO薄膜具有透明导电功能.经氢气退火后锐钛矿相(101)衍射峰明显增强,TiO2:Nb薄膜的结晶性能更为优异.证明氢气退火有利于形成对导电性有利的锐钛矿相,对结晶性能有所改善.并且在相同的沉积温度下,沉积时间长的薄膜结晶性能更好.同时,氢气退火有利于产生缺陷并提高Nb原子的掺杂效率,对导电性有促进作用.
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