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研究了一种氧化物半导体型氧敏元件的氧敏特性，该元件制作工艺简单，对氧具有较高的灵敏度和很好的选择性。
ＺｒＯ<,2>氧敏元件特性研究
【摘 要】
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研究了一种氧化物半导体型氧敏元件的氧敏特性，该元件制作工艺简单，对氧具有较高的灵敏度和很好的选择性。
【机 构】
：
内蒙古大学
【出 处】
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第三届全国气湿敏传感技术学术会议
【发表日期】
：
1994年期
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