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TESCAN将TOF-SIMS和SEM/FIB集成在一起,利用飞行时间二次离子质谱进行元素分析,不仅提高了空间分瓣率和检出限,拓展了元素分析范围,还能进行同位素的分析,极大的弥补了常规EDS元素分析的不足。另外,TESCAN还将共聚焦拉曼光谱和扫描电镜集成在一起,彻底实现了一体化,在扫描电镜观察的同时实现拉曼光谱的面分布分析。