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电子元件清洗的好坏已成为影响电子元器件质量的关键因素。本文分析了当前各种清洗技术的优缺点，指出目前工业用的水基清洗和有机溶剂清洗技术，因对大气臭氧层的破坏以及对环境的污染问题，已不太适于电子工业发展的需要。目前最有希望的替代工艺就是超临界CO2清洗技术，它兼具水基清洗和有机溶剂清洗的优点，又具有清洗效果好、清洗速度快、清洗流程短、不需干燥、应用面广、清洗剂环保又可循环使用等优点。本文详细介绍了超临界CO2清洗新技术的原理，使用条件与方法，新技术的优缺点及应用范围，强调该技术是值得全国推广应用的新技术。