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近年来，特征尺度在几百纳米到几十微米的材料广泛应用于大规模集成电路以及微机电系统(MEMS)中，其力学性能、电学性能及失效机理引起了广泛的关注。
微尺度粗糙表面弹塑性电接触行为研究
【摘 要】
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近年来，特征尺度在几百纳米到几十微米的材料广泛应用于大规模集成电路以及微机电系统(MEMS)中，其力学性能、电学性能及失效机理引起了广泛的关注。
【机 构】
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清华大学 航天航空学院,100084
【出 处】
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第十四届全国实验力学学术会议
【发表日期】
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2015年3期
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