论文部分内容阅读
压电陶瓷定位系统是电化学成像检测装置中的重要组成部分,是实现高分辨电化学成像检测的关键,一般可以达到纳米级的位移分辨率和定位精度。本文详细地阐述了电阻应变片测量压电陶瓷输出位移的原理,并通过自行搭建的高压驱动电路和位移检测电路,对集成了电阻应变片传感器的压电陶瓷定位系统分别在开环控制和闭环控制下进行了测试,闭环控制算法采用了经典的PID算法。