论文部分内容阅读
高速小型复合分子泵运行过程中要监测多种状态信号，需构建相应的测试系统。本文主要介绍该测试系统构建过程中，如何实现对小模拟量信号准确采集，监测状态的实时显示和处理、试验数据管理、试验部件管理。通过该测试系统实现对于分子泵监测和试验的效率的极大提升。
高速小型复合分子泵测试系统构建关键技术
【摘 要】
：
高速小型复合分子泵运行过程中要监测多种状态信号，需构建相应的测试系统。本文主要介绍该测试系统构建过程中，如何实现对小模拟量信号准确采集，监测状态的实时显示和处理、试验数据管理、试验部件管理。通过该测试系统实现对于分子泵监测和试验的效率的极大提升。
【机 构】
：
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 四川绵阳,621900
【出 处】
：
中国真空学会2016学术年会
【发表日期】
：
2016年5期
其他文献
Luminescence properties of rare-earth ions(RE3+= Pr3+,Sm3+and Eu3+)in Lu7O6F9 microrods fabricated b
RE3+activated Lu7O6F9(RE3+=Pr3+,Sm3+and Eu3+)were synthesized through a facile two-step hydrothermal method followed by heat treatment.
为解决极高真空测量中电离真空规微弱离子流的检测难题，设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构，配合低通滤波、零点调节以及相位补偿等技术，实现了10-14A微弱离子流的准确检测。通过与国内外不同型号电离真空规进行试验测试，验证了该设计电路能够准确检测10-9Pa 极高真空下的电离规离子流，为实现极高真空测量设备国产化提供了技术参考。
Rare earth mining leads to persistent waste water pollutants including valuable rare earth elements.
碳纳米管(Carbon Nanotube,CNT)阴极电离真空计能够克服高温热阴极引入的热出气、热辐射和光辐照等问题,有希望延伸超高/极高真空测量下限,但是碳纳米管阴极自身引入的吸放气效应成为了新的制约因素.本文基于超高/极高真空校准系统,结合质谱分析方法,实验研究了CNT 阴极电离规工作过程中的气体成分变化,同时测试了CNT 阴极电离规的宏观出气率,分析了微观气体脱附对电离规局部本底压力的影响.
为了验证超导磁体绝缘的完整性,在超导磁体制造完成后,需对超导磁体绝缘进行相 应的帕邢测试,用于帕邢测试的真空容器需要稳定在不同等级低气压下较长时间.而使用传 统的静态保压方式很难实现这一点.为此,本文设计了一套用于维持超导磁体帕邢测试真空 度动态平衡控制系统.当抽气机组对低气压状态下的真空容器抽气时,通过 PID控制系统 调节真空容器进气阀门开口大小,确保真空容器在一定低气压值下较长时间保持稳定.
真空计的校准大多在23℃±3℃区间进行,但真空计实际使用环境的温度范围存在超出该校准温度区间的情况,尤其是外太空环境,温度变化范围大(-100℃～100℃),温度一致性差,导致真空计的测量结果产生误差,真空度准确性无法保障,不利于我国开展外太空探索.为填补我国高低温真空校准空白,国防科技工业真空一级计量站研制了由供气系统、抽气系统、温度控制系统、压力校准系统和数据采集系统组成的高低温真空校准装置.
氮化铝主要有六方纤锌矿和四方闪锌矿两种晶型,为了研究不同晶型氮化铝真空热分解反应机理,对该反应进行真空条件下热力学计算,结果表明反应在1923K～2073K,60Pa 的条件下可以进行。利用基于密度泛函(DFT)框架下的第一性原理平面波赝势法,对两种不同晶型氮化铝真空热分解反应在1923K～2073K,60Pa 的条件下分别进行了10ps 动力学模拟,并对模拟得到两种晶型的AlN 的结构、分波态密
梦之线是一条基于双EPU 插入件的宽能段、超高能量分辨率的软X 射线光束线。在同步辐射光照射下产生的碳污染，会影响碳边能量范围内的实验。在此光束线下，对镜箱进行原物通氧实验，对比前后超高真空系统的残气成分和通量变化，发现通光情况下充氧对碳污染有明显改善，且通量有所提高。
近年来,随着科学技术的不断发展,航天、航空、汽车制造,及制冷等行业对正压检漏技术提出了更高的要求.现有的正压检漏受正压漏孔校准下限的制约,已经不能完全满足这些行业的需求,因此,为延伸正压漏孔校准的下限,通过对正压漏孔校准技术的研究采取了以下四项措施.措施一,尽可能减小活塞的直径,变容室与定容室及活塞相连接,形状如同一根细管,在正压漏孔校准的过程中,变容室通过活塞的移动改变容积.正压漏孔校准装置采用