【摘 要】
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本文对一种以矩形膜片为一次敏感元件,硅梁作为二次谐振敏感元件的谐振式硅微结构压力传感器敏感结构进行了研究.针对微传感器的敏感结构和工作机理,利用弹性力学的相关理论,给出了矩形膜片与硅梁的解析模型,计算、分析了膜片的位移、应力及应变场分布以及梁谐振子的频率特性曲线;特别比较了矩形膜片尺寸变化对上述特性的影响规律.提出了较为实用的优化方案及参数设计思路.此外,利用ANSYS6.1有限元分析软件,对整个
【机 构】
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自动化学院测控系,北京航空航天大学(中国北京)
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本文对一种以矩形膜片为一次敏感元件,硅梁作为二次谐振敏感元件的谐振式硅微结构压力传感器敏感结构进行了研究.针对微传感器的敏感结构和工作机理,利用弹性力学的相关理论,给出了矩形膜片与硅梁的解析模型,计算、分析了膜片的位移、应力及应变场分布以及梁谐振子的频率特性曲线;特别比较了矩形膜片尺寸变化对上述特性的影响规律.提出了较为实用的优化方案及参数设计思路.此外,利用ANSYS6.1有限元分析软件,对整个结构进行了力学分析,并与上述解析结果进行了比较.结果表明本文提供的解析模型具有工程实用价值,可用于该谐振式硅微结构压力传感器敏感结构的优化设计.
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