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本文提出了一种基于静电机制的可编程微电极阵列液滴驱动器,它采用重搀杂多晶硅制备微电极阵列,热氧化硅作为介质层,碳氟聚合物薄膜作为疏水层.通过控制施加电压的脉冲时序,操控电极阵列上疏水层表面的液滴.在空气环境下,成功实现了液滴的快速传输,液滴传输速度可达24mm/s,驱动电压仅为30v.
基于静电机制的MEMS液滴驱动器芯片
【摘 要】
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本文提出了一种基于静电机制的可编程微电极阵列液滴驱动器,它采用重搀杂多晶硅制备微电极阵列,热氧化硅作为介质层,碳氟聚合物薄膜作为疏水层.通过控制施加电压的脉冲时序,
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,北京,100084
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年期
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