【摘 要】
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＜正＞ 等离子体增强磁控溅射沉积技术（PMD）是以磁控溅射为基础的新型PVD沉积技术,它将传统的磁控溅射技术与独立产生的弧光放电平面等离子体源相结合沉积硬质膜。使用的平面等离子体源是自行研制的平面等离子体源增强沉积镀膜机,通过离化产生气体离子,可实现清洁活化工件表面和增强沉积高结合力薄膜的目的。
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＜正＞ 等离子体增强磁控溅射沉积技术（PMD）是以磁控溅射为基础的新型PVD沉积技术,它将传统的磁控溅射技术与独立产生的弧光放电平面等离子体源相结合沉积硬质膜。使用的平面等离子体源是自行研制的平面等离子体源增强沉积镀膜机,通过离化产生气体离子,可实现清洁活化工件表面和增强沉积高结合力薄膜的目的。
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