【摘 要】
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本文针对传统湿法蚀刻去铜箔的固有弊端,提出了避免传统蚀刻方法固有弊端的四种高精度干法蚀刻铜箔的方式:机械雕刻、激光雕刻、溅射蚀刻以及反应离子蚀刻。
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本文针对传统湿法蚀刻去铜箔的固有弊端,提出了避免传统蚀刻方法固有弊端的四种高精度干法蚀刻铜箔的方式:机械雕刻、激光雕刻、溅射蚀刻以及反应离子蚀刻。
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