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蓝宝石衬底Ga N基蓝绿光LED管芯因其表面双电极特点,部分pn结区裸露在管芯表面覆盖一层透明的介质膜,一方面能有效保护芯片结区不被污染,一方面还能优化芯片的光特性。本文主要研究了不同镀膜方式钝化膜、不同材料组成钝化膜对蓝绿光芯片的光电特性的影响。氧化硅薄膜中生长过程中含氧量越高,薄膜的透过率也越好,LED芯片的发光强度越高。