金纳米互连引线热疲劳行为的实验研究

来源 :中国力学学会北方七省市区第十三届学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhhs555

【摘要】

：

随着微电子器件尺寸的急剧减小,大规模集成电路的引线结构的特征宽度已达45nm.对于这样细微的互联引线在电路中工作时,将不可避免地承受着由于温度波动而导致的热力疲劳破坏.

【作者】

：

李喜德孙立娟凌雪

【机构】

：

清华大学航天航空学院,北京,100084

【出处】

：

中国力学学会北方七省市区第十三届学术大会

【发表日期】

：

2010年期

【关键词】

：

金纳米互连引线热疲劳行为疲劳破坏大规模集成电路温度波动热力器件尺寸

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随着微电子器件尺寸的急剧减小,大规模集成电路的引线结构的特征宽度已达45nm.对于这样细微的互联引线在电路中工作时,将不可避免地承受着由于温度波动而导致的热力疲劳破坏.本文从实验角度研究了长度20μm、厚度35nm、宽度从500～100nm的金引线在交流电作用下的热力疲劳破坏特性,讨论了其破坏机理.

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