【摘 要】
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计算了NiFe/Cu薄膜的弹性应变能和表/界面能。结果表明{100}晶面和{111}晶面分别是弹性应变能和表/界面能最小的晶面,使薄膜在生长过程中岀现择尤取向而产生{100}和{111}纤维
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(编号51171018)的支持
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计算了NiFe/Cu薄膜的弹性应变能和表/界面能。结果表明{100}晶面和{111}晶面分别是弹性应变能和表/界面能最小的晶面,使薄膜在生长过程中岀现择尤取向而产生{100}和{111}纤维织构。比较两种织构的形成机制,{100}织构具有最低的弹性应变能和表/界面能,因此NiFe/Cu薄膜在退火后的最终织构是{100}。同时提出弹性应变能是退火后薄膜发生{111}织构向{100}织构的转变的主要驱动力。
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