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半定量分析的目标是对来样立即进行快速的定量分析,并获得较理想定量分析结果。目前超轻元素已在WDXRF和EDXRF谱仪得到广泛应用,WDXRF可分析4Be-94Pu,EDXRF可分析11Na-94Pu,通过多年努力已取得如下进展:应用X射线管靶材的康普吨散射线强度,用于估算和推定X射线荧光光谱不能测定的元素或化合物及影响,并正确计算出测定元素的含量;基于物理化学形态的影响对主量元素分析结果影响较大,为了提高超轻元素和含有超轻元素样品的分析准确度,在用基本参数法计算理论强度时,增加由基体本身受激发产生光电子引起的二次激发,这样可改善超轻元素分析准确度。