砷化镓基片上制作优质衍射光栅的实时监测技术的分析

来源 :中国光学学会光学信息处理在国民经济中的作用学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liangsfr

【作者】

：

谢建平明海多田邦雄

【机构】

：

中国科学技术大学

【出处】

：

中国光学学会光学信息处理在国民经济中的作用学术讨论会

【发表日期】

：

1988年期

【关键词】

：

砷化镓基片制作衍射光栅

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