论文部分内容阅读
该文采用等离子体基离子注入（ＰＢⅡ）法制备类金刚石碳（ＤＬＣ）基和银基多层膜，并测试了多层膜的成分分布，研究了不同表面改性层配对对谐波齿轮摩擦副运行寿命的影响。结果表明：谐波齿轮上制备的多层膜为成分连续变化、无界面的复合改性层；在齿面较为粗糙的谐波齿轮摩擦副上分别配以ＤＬＣ基和银基多层膜，可获得较高的运行寿命。