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高性能光学合成石英玻璃因其优异的综合性能而成为激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端光电子技术领域不可或缺的关键光学材料。重点介绍了化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等光学合成石英玻璃制备工艺优缺点、发展现状、材料性能与应用等。
高性能光学合成石英玻璃的制备和应用
【摘 要】
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高性能光学合成石英玻璃因其优异的综合性能而成为激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端光电子技术领域不可或缺的关键光学材料。重点介绍了化学
【机 构】
：
中国建筑材料科学研究总院,石英与特种玻璃研究院;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家国际科技合作专项项目(2012DFA51310);中国建筑材料科学研究总院前沿探索基金项目(YT-112)
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