【摘 要】
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本文采用直流反应溅射工艺以金属铌为靶材成功地制备了变色性能优良的氧化铌薄膜。采用Talystep 轮廓仪测定了薄膜厚度,分析了溅射条件与薄膜形成、性能之间的关系;采用X 射
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心;
【基金项目】
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国家自然科学基金(59932040-2)
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本文采用直流反应溅射工艺以金属铌为靶材成功地制备了变色性能优良的氧化铌薄膜。采用Talystep 轮廓仪测定了薄膜厚度,分析了溅射条件与薄膜形成、性能之间的关系;采用X 射线衍射法分析了薄膜物相组成;采用原子力显微镜观察了薄膜的形貌结构;采用标准的三电极测试法测定了薄膜在1M LiClO4/碳酸丙烯酯（PC）电解液中的循环伏安特性,并进行实时透过率测试;采用XPS 分析薄膜着色态与漂白态的表面化学位移变化,分析探讨了氧化铌薄膜的电致变色机理。
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