【摘 要】
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硒化后高温退火的工艺适合制备高效率的CIGS电池，而且当退火温度增加到580℃时薄膜的结晶性和Ga元素的纵向分布显著改善，这可能是因为硒化反应中间相在580℃退火时产生了液相，加速了重结晶和Ga扩散。通过硒化后580℃退火的工艺得到的最高效率为14.65％的，开路电压590mV，有效面积0.446cm2。
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海空间电源研究所
【出 处】
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2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会
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硒化后高温退火的工艺适合制备高效率的CIGS电池，而且当退火温度增加到580℃时薄膜的结晶性和Ga元素的纵向分布显著改善，这可能是因为硒化反应中间相在580℃退火时产生了液相，加速了重结晶和Ga扩散。通过硒化后580℃退火的工艺得到的最高效率为14.65％的，开路电压590mV，有效面积0.446cm2。
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