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含裂纹压电驱动的柔顺MEMS机构刚度特性分析
含裂纹压电驱动的柔顺MEMS机构刚度特性分析
来源 :第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:robitewx
【摘 要】
:
本文研究一种由压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的柔顺MEMS机构(RRR机构),通过有限单元法建立了柔顺机构的平面模型,在应力集中处引入裂纹.分析裂纹对机构输出参数位移和系统刚度的
【作 者】
:
王学军
刘长利
刘长军
章文俊
【机 构】
:
复杂与智能系统研究中心, 机械与动力工程学院,华东理工大学, 上海 200237,中国
【出 处】
:
第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
无裂纹
压电驱动
MEMS
柔顺机构
系统刚度
压电陶瓷驱动器
有限单元法
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本文研究一种由压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的柔顺MEMS机构(RRR机构),通过有限单元法建立了柔顺机构的平面模型,在应力集中处引入裂纹.分析裂纹对机构输出参数位移和系统刚度的影响.通过比较无裂纹和有裂纹情况下的结果,较为直观的给出裂纹对RRR机构输出参数影响程度.
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