射频溅射制备高阻SnO 2222 薄膜及光伏应用研究

来源 :第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12) | 被引量 : 0次 | 上传用户:mosalin
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采用射频磁控溅射法制备SnO2 薄膜,通过XRD,紫外可见光分光光度计,四探针法对薄膜的结构和光电性质进行表征.结果表明,在可见光区域,SnO2 薄膜在可见光范围内的平均透过率可达86%,其电阻率为0.1Ω.cm.通过AMPS-1D 模拟软件对结构为glass/ITO/SnO2/CdS/CdTe 结构的太阳电池进行模拟,结果表明,加入高阻层SnO2薄膜,有利于提高电池的光电性能.
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