【摘 要】
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低温等离子体技术作为特殊的处理手段广泛应用于半导体工艺中,但在加工直径大于300mm的晶圆片时,半导体器件加工的均匀性,一致性就会变差,成品率极低,其关键在于反应腔内的等
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低温等离子体技术作为特殊的处理手段广泛应用于半导体工艺中,但在加工直径大于300mm的晶圆片时,半导体器件加工的均匀性,一致性就会变差,成品率极低,其关键在于反应腔内的等离子体在外加高频电磁场的作用下没有形成均匀稳定的分布。针对这一问题,本文拟采用时域模拟仿真方法对腔体内的现象进行分析。发现等离子体的均匀性很大程度依赖于馈电的位置和数量。在研究等离子体与电场交互的机制的情况下,找出影响等离子体均匀分布的因素。
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