【摘 要】
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本文采用多种工艺在钛合金基体上制备了不同疏水薄膜，通过AFM及SEM分析了薄膜的表面形貌，通过接触角测试法表征了薄膜的疏水性能和表面能，比较了不同表面粗糙度对薄膜疏水性能影响。试验结果表明随着薄膜纳米结构的增多和粗糙度变大，薄膜接触角变大，疏水性能得到改善，并且带有微纳复合结构的薄膜接触角提高的更多，通过相关工艺及参数的优化，使钛合金基体的接触角从70°提高到159°，实现了超疏水薄膜制备，这说明
【机 构】
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大连理工大学物理与光电学院 大连 116024;北京航空制造工程研究所高能束流加工技术国家级重点实验室 北京 100024
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本文采用多种工艺在钛合金基体上制备了不同疏水薄膜，通过AFM及SEM分析了薄膜的表面形貌，通过接触角测试法表征了薄膜的疏水性能和表面能，比较了不同表面粗糙度对薄膜疏水性能影响。试验结果表明随着薄膜纳米结构的增多和粗糙度变大，薄膜接触角变大，疏水性能得到改善，并且带有微纳复合结构的薄膜接触角提高的更多，通过相关工艺及参数的优化，使钛合金基体的接触角从70°提高到159°，实现了超疏水薄膜制备，这说明薄膜表面微结构在其疏水性能上扮演重要角色。
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