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本文基于WO3/ZnO/Si三层模型，用传递矩阵法模拟WO3敏感层电导率变化所引起的传感器中心频率的变化情况，即电导率灵敏度，证明在吸附被测气体后，表面电导率的上升会引起中心频率下降，而表面电导率的下降则会引起中心频率的上升，即可能出现异常响应。
声表面波气体传感器异常响应的理论研究
【摘 要】
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本文基于WO3/ZnO/Si三层模型，用传递矩阵法模拟WO3敏感层电导率变化所引起的传感器中心频率的变化情况，即电导率灵敏度，证明在吸附被测气体后，表面电导率的上升会引起中心频率下
【机 构】
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南京大学声学研究所,近代声学实验室,南京,210093
【出 处】
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2010年全国声学学术会议
【发表日期】
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2010年期
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