【摘 要】
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本文基于Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)技术,研制出高灵敏度的微型热导检测器,该热导检测器的热敏电阻采用悬空结构,置于气流沟道中,因此其具有隔热性能好、死体
【机 构】
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中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室 100190
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文基于Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)技术,研制出高灵敏度的微型热导检测器,该热导检测器的热敏电阻采用悬空结构,置于气流沟道中,因此其具有隔热性能好、死体积小以及检测灵敏度高等特点.然后以微型热导检测器(Micro Thermal Conductivity Detector,micro TCD)为核心,研制出高集成化的便携式色谱系统,并实现在常温下对C1～C5等轻烃的快速检测,各组分的色谱峰峰形匀称,无明显拖尾现象,浓度最低检出限可达几个ppm。
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