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该文简述了高纯多晶硅管的特性，并介绍了φ１７５ｍｍ大直径高纯多晶硅管研制的工艺原理、方法和结果。
大直径高纯多晶硅管的研制
【摘 要】
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该文简述了高纯多晶硅管的特性，并介绍了φ１７５ｍｍ大直径高纯多晶硅管研制的工艺原理、方法和结果。
【机 构】
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半导体材料研究所
【出 处】
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第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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