【摘 要】
：
使用压电薄膜(PZT)制造微机电系统传感器具有结构简单、灵敏度较高的特点,所以其研究受到了很大的关注.本文研究了一种在硅基上铺设单层压电薄膜的梁式压力传感器.在这个模型
【机 构】
：
中国暨南大学,国际学院和理工学院,510632南非开普敦,开普半岛技术大学,智能结构与微机电系统实验室
【出 处】
：
全国第一届压电和声波理论及器件技术研讨会
论文部分内容阅读
使用压电薄膜(PZT)制造微机电系统传感器具有结构简单、灵敏度较高的特点,所以其研究受到了很大的关注.本文研究了一种在硅基上铺设单层压电薄膜的梁式压力传感器.在这个模型中考虑了薄膜的几何尺寸和弹性性能,对该结构用有限元进行了模态分析,然后又推倒出压力传感器解析方程.这个方程给出了电荷和压力之间的定量关系,在此基础上,还给出了灵敏度的计算研究表明这种简单结构便于制造,可靠性强,可以承受比较大的压力P.
其他文献
本文总结了从1998年开始于荣金先生领导的课题组在塑料通信光纤元器件及其系统方面的研究工作.主要包括关于塑料光纤结构与性能的分析及其制备工艺和相应设备,以及塑料光纤通
垂帘光纤可通过人工刻痕法、机械法和激光法在聚合物光纤POF外表进行有间隔的刻痕,实现POF侧面的点漏光,其中以激光法最为先进.垂帘光纤通过光源如金卤灯光源传光实现照明和
针对塑料光纤主要纤芯材料聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的性能测量,本文主要使用介电参量(介质损耗角正切随温度变化的极值tanδmax和相对电容率εr)分别来表征片状PMMA试样的物理
SIP(session initiate protoco1)是VoIP(voice overinternet protocol)协议之一。将SIP软终端移植到嵌入式系统中使SIP终端有好的移动性和便携性，也使得SIP协议更为推广。嵌入
自从倒锥透镜形光纤端被作者提出以来,经过十几年的不断研究与发展,对该器件的各种光学性质已经进行了较为深入的了解与研究.这种倒锥透镜形光纤端系经过特殊技术加工而成,可
塑料光纤有许多特点,应用面非常之广;但也有弱点,特别与石英光纤相比,在传输损耗等方面存在严重不足.面对这种状况,我们应该发扬塑料光纤的长处,避开或解决它的短处.在研究、
由于聚合物光纤具有数值孔径大、连续方便和成本低的优点,其在短距离通信、传感、传光等方面有很好的应用前景.本文论述了聚合物光纤(POF)在家庭智能化、汽车网络、国防、工
随着网络技术的飞速发展,信息社会的来临,ADSL、可视电话等对通信业务的发展提出更高的要求,进一步要求实现网络高速化、宽带化,解决网络瓶颈问题.从现状来看,采用塑料光纤接
聚合物作为光波导器件的介质材料,具有很多优点,本文利用聚合物的热光效应,设计出一种新型的1×2聚合物波导型光开关.对这种开关的参数设计、损耗和制作工艺进行了初步的讨论
压电复合材料是近30年来发展起来的用途广泛的功能材料.本文讨论了压电复合材料的特点及发展现状,介绍了几种连通型压电复合材料的结构、性能及制备方法.