论文部分内容阅读
随着科学技术日益进步和现代工业的高速发展，对许多行业中所应用的工作介质或产品的纯净度以及相应的检测和监控技术提出了越来越高的要求。该文简述了微电子、医药、石油开采、精密机械等工业领域对超净介质的不同要求。在对超净介质中杂质的检测方法中，光学颗粒计数仪具有检测速度快、干扰小、自动化程度高、易于在线检测等一系列优点。该文从工程应用角度，对光学颗粒计数仪的基本原理、相关理论、结构特点、发展动态等作了简述。