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本文使用东方盖德公司生产的缠绕式直流磁控溅射设备进行了磁控溅射薄膜沉积的研究，探讨了负偏压对基体温度和薄膜表面形貌的影响，分析了负偏压对薄膜表面成分和阻隔性的影响情况，指出适当的负偏压影响磁控溅射Al2O3薄膜的性能，有利于获得高阻隔性的包装材料。
负偏压对磁控溅射氧化铝薄膜的影响
【摘 要】
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本文使用东方盖德公司生产的缠绕式直流磁控溅射设备进行了磁控溅射薄膜沉积的研究，探讨了负偏压对基体温度和薄膜表面形貌的影响，分析了负偏压对薄膜表面成分和阻隔性的影响情
【机 构】
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哈尔滨商业大学，哈尔滨150028印刷包装材料与技术北京市重点实验室，北京102600哈尔滨商业大学，哈尔滨150028
【出 处】
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中国真空学会2008年学术年会
【发表日期】
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2008年10期
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