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利用石英晶振的能限理论和归一化判据对单基集成晶振的电极结构进行了分析，并对不同电极结构的晶振振动特性进行了分析。结果表明理论分析和实验结果一致，并得出了10MHzAT切的单基集成晶振的最佳结构。根据该结构设计的差频式石英谐振传感器的温度特性得到了较大的改善。
集成式石英谐振器尺寸结构分析及实验
【摘 要】
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利用石英晶振的能限理论和归一化判据对单基集成晶振的电极结构进行了分析，并对不同电极结构的晶振振动特性进行了分析。结果表明理论分析和实验结果一致，并得出了10MHzAT切的
【机 构】
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北京信息工程学院传感器技术研究中心北京市北四环中路35号100101
【出 处】
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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
【发表日期】
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2006年12期
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