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采用多阴极等离子体注入与沉积装置制备了DLC-TiAlSiCN纳米复合涂层，采用X射线衍射(XRD)、X射线光电予能(XPS)，拉曼光谱(Raman)、透射电子显微镜(TEM)、纳米探针和摩擦实验对制备的涂层的微结构和摩擦特性进行测试，结果表明：所有的DLC-TiAlsiCN涂层具有典型的纳米复合结构，n-TiCN纳米晶镶嵌在a-Si3N4，a-Sic，a-CN a和DLC.
的矩阵中，随着涂层中DLC含量的增加，相邻晶粒之间的间距增大.当相邻晶粒之间的间距较小时，DLC-TiAlSiCN涂层具有超高的硬度50Gpa，但摩擦系数较高，DLC含量增加有助于涂层摩擦性能的改善，但涂层的硬度降低。