【摘 要】
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本报告介绍了美国制裁中兴公司的始末,真空技术在半导体IC装备中的重地位,真空技术是半导体技术的发展的重要基础,没有真空技术就没有半导体工业。介绍了国外真空技术发展简
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本报告介绍了美国制裁中兴公司的始末,真空技术在半导体IC装备中的重地位,真空技术是半导体技术的发展的重要基础,没有真空技术就没有半导体工业。介绍了国外真空技术发展简史,我国真空设备发展简史,我国真空技术发展的三个阶段,我国真空设备制造企业从无到有,不断发展壮大,已成为世界上从事真空技术产业企业数量最多,从业人数最多的国家。我国真空企业分布情况,近年来真空产品进出口情况,真空技术水平现状,真空技术存在的问题及对广东真空产业发展建议。
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