氧化物薄膜因为其丰富的物理性质，已成为功能材料体系非常重要的一个分支.氧化物薄膜是通过同质或异质外延的方式生长在基底上，通常薄膜中氧元素的化学剂量往往会偏离理论上各元素间的化学计量比，从而在薄膜中形成固有的缺陷-氧空位.氧空位已经被证实是决定氧化物薄膜丰富物理性质的关键因素，同时也是调控氧化物材料功能性的有效手段之一.多铁性薄膜(同时具有两种或两种以上铁序：铁电序、反铁磁/铁磁序和铁弹序)是氧化物薄膜的一个重要分支，因其丰富的物理性质和潜在的应用一直以来都处于材料研究的前沿.从材料应用的角度而言，同时具有铁磁序-铁电序的多铁性薄膜更具有吸引力且实际应用也更广.然而，自然界中较常见的是具有反铁磁序-铁电序共存的多铁性材料.块材Eu0.5Ba0.5TiO3是一种典型的反铁磁性(TN=1.9 K)和铁电性(TC=213 K)共存的多铁性材料.通过在Eu0.5Ba0.5TiO3薄膜中引入氧空位，尝试利用氧空位来同时调控Eu0.5Ba0.5TiO3薄膜的磁性质和电性质；同时利用第一性原理研究了氧空位调控反铁磁序-铁电序转变为铁磁序-铁电序涉及的物理机制.考虑到氧空位在氧化物薄膜制备过程中很容易形成，我们的工作为氧化物薄膜中铁磁序和铁电序的共存提供了一种新的手段.