光栅在超精密加工中的应用兼论光栅技术的发展趋势

来源 :中国机械工程学会超精密加工技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mawenxing8155
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论述了光栅技术在超精密加工和超精测量中应用的可行性,比较了光栅技术和激光干涉技术的优缺点。从光栅技术的发展历史,总结出光栅技术发展的趋势,为进一步提高光栅系统的性能指出了方向。
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