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拉制单晶硅用大直径石英玻璃坩埚,目前国内的传统产品(8英寸以上)都是不透明的。90年代初期,随着大规模集成电路的不断发展,对拉制单晶硅生产中使用的坩埚有新的要求,它要求内层光洁透明,无杂点、气泡,外壁乳白,中间呈明显夹层结构,且尺寸要求也越来越大,目前,国内在这项技术方面还不成熟,而国外公司经过技术改进后,开发生产出了这种产品,并逐步占领了国内市场。本文介绍了大直径内层透明电弧石英玻璃坩埚的制造技术。