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本文介绍了连续磁控溅射镀膜的光学膜厚监控的需求与特点，描述了宽光谱测量原理与膜厚监控原理，详细介绍了宽光谱测量系统的构成及在生产线上的使用情况。该宽光谱膜厚监控系统是高性能的膜层镀制的重要技术保障，将会广泛应用在镀膜生产线上。
连续磁控溅射镀膜的光学膜厚监控技术
【摘 要】
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本文介绍了连续磁控溅射镀膜的光学膜厚监控的需求与特点，描述了宽光谱测量原理与膜厚监控原理，详细介绍了宽光谱测量系统的构成及在生产线上的使用情况。该宽光谱膜厚监控系统
【机 构】
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北京奥博泰科技有限公司,北京 100070
【出 处】
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2005’中国加工玻璃年会暨首届研讨会
【发表日期】
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2005年期
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