优质ZnO单晶薄膜制备与p型掺杂研究新进展

来源 :第五届届全国氧化锌学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aswdea
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  ZnO光电材料是新型节能光电子工业的基础材料,在未来白光照明产业中有可能发挥重要作用,其中ZnO-LED发光应用和新型透明导电在节能光电子器件中应用将是重要的方向.ZnO作为光电子器件,薄膜制备是基础、可控掺杂是关键.本文重点介绍了我们课题组最近在应用新型MBE设备生长优质ZnO单晶及合金薄膜及Na掺杂的新工作,专用MOCVD生长ZnO薄膜以及Na掺杂的新进展.
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