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激光薄膜是惯性约束聚变激光驱动装置、超强超短激光等强激光装备中的核心元件，其光谱、激光损伤阈值和波面质量等性能将影响整个激光装置的输出能量和光束质量。上海光机所采用电子束沉积技术，开展了高精度膜厚监控、薄膜缺陷抑制和应力控制等方面的研究工作，获得了具有低缺陷密度和低膜层应力的高性能激光薄膜。