【摘 要】
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利用离子注入的方法将剂量为5×1016 ions/cm2，能量为45 keV的Zn离子注入光学纯的石英(SiO2)玻璃基片中，然后在不同气氛中采用不同温度对样品进行退火以促进纳米颗粒的成核
【机 构】
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天津大学理学院物理系 天津 300072
【出 处】
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华北地区硅酸盐学会第十届学术交流会
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利用离子注入的方法将剂量为5×1016 ions/cm2，能量为45 keV的Zn离子注入光学纯的石英(SiO2)玻璃基片中，然后在不同气氛中采用不同温度对样品进行退火以促进纳米颗粒的成核与生长。实验结果显示，Zn纳米颗粒的演变过程及形成的ZnO纳米颗粒的质量受的退火氛围的影响。600°C退火后，在单独的氧气气氛围中退火一小时及先在氧气气氛后在氮气气氛围各退火一小时两种处理条件下都能得到ZnO纳米颗粒。但是在单独的氮气中退火只能观测到Zn纳米颗粒的生长。X射线小角衍射(GXRD)对样品测量的结果显示，形成的 ZnO纳米颗粒的优先取向为(002)和(103)晶向。光致发光谱(PL)进一步显示，先氧气后氮气退火处理的样品形成的ZnO纳米颗粒质量较高,本征发光比较强。
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