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PET/TCO可用于柔性太阳电池及其他柔性电子器件，在常规的PET/TC0结构上沉积一层体电阻率较高的TCO层，可改善相应的电子器件的性能。本文采用磁控溅射镀膜的方法在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料衬底上制备In2O3：SnO2(ITO)薄膜和高阻过渡层ZnO薄膜。通过四探针、紫外可见分光光度计、扫描电镜(SEM)等对薄膜样品进行了表征，研究不同厚度ZnO薄膜过渡层对ITO/ZnO薄膜微观结构和光电性能的影响。