【摘 要】
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随着集成电路(IC)的不断发展,IC技术已经进入了"功耗限制"的时代,功耗成为集成电路设计和制备中的核心问题。技术进步的主要驱动力己不是传统的scaling,而是包括结构、工
【出 处】
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中国科学院第十六次院士大会第三届学部学术年会
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随着集成电路(IC)的不断发展,IC技术已经进入了"功耗限制"的时代,功耗成为集成电路设计和制备中的核心问题。技术进步的主要驱动力己不是传统的scaling,而是包括结构、工艺、材料、机理在内的新器件技术。本文以超低功耗为目标,针对逻辑电路和存储电路发展的需求,兼顾两者未来的集成融合性,介绍具有良好工艺兼容性和集成潜力的低功耗新结构/新机理逻辑和存储器件。同时,对器件相关的可靠性问题进行讨论,为器件和工艺设计和优化提供依据。相关技术将为"绿色微纳"集成电路及系统技术的发展奠定核心的器件基础。
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