【摘 要】
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深能级瞬态谱(Deep Level Transient Spectroscopy)是半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要技术手段.根据半导体P—N结、金－半接触结构肖特基结的瞬态
【机 构】
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中国科学院福建物质结构研究所光电材料化学与物理重点实验室,福州350002
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深能级瞬态谱(Deep Level Transient Spectroscopy)是半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要技术手段.根据半导体P—N结、金－半接触结构肖特基结的瞬态电容(△C～t)技术和深能级瞬态谱(DLTS)的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱,是一种具有很高检测灵敏度的实验方法,能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态.通过对样品的温度扫描,给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度(即能量)分布的DLTS谱.
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