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电感耦合式等离子清洗系统及其在洁净真空中的应用
电感耦合式等离子清洗系统及其在洁净真空中的应用
来源 :中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pinxue
【摘 要】
:
本文介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成,以一台已经试制成功的清洗设备为例,介绍了典型设备的系统构成、技术指标以及应用于微波管制造过程中所收到的良好效果
【作 者】
:
张吉峰
王承章
【机 构】
:
北京真空电子技术总公司,北京,100016
【出 处】
:
中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会
【发表日期】
:
2009年期
【关键词】
:
电感耦合式
等离子清洗系统
洁净真空
制造过程
系统构成
清洗设备
技术指标
微波管
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本文介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成,以一台已经试制成功的清洗设备为例,介绍了典型设备的系统构成、技术指标以及应用于微波管制造过程中所收到的良好效果。
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